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十萬級電子車間工程
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潔淨室之構成

潔淨室的構成是由下列各項係統所組成(在所組成的係統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔淨室:

(1)天花板係統:包括吊杆(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空調係統:包括空氣艙、過濾器係統、風車等。

(3)隔牆板(Partitional wall):包括窗戶、門。

(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。

(5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。

潔淨室之建築主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;

B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;

C.吸濕性小;

D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。

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