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無塵室概述
2017-2-28 17:27:54

      無塵室也稱潔淨室,是指一個具有低汙染水平的環境,這裏所指的汙染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個淨室具有一個受控的汙染級別,汙染級別可用每立方米的顆粒數,或者用大顆粒大小來厘定的。低級別的淨室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。

     無塵室的定義:空間範圍內之空氣中的微塵粒子等汙染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為潔淨室。淨室被廣泛地應用在對環境汙染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、製藥、醫院等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔淨度要求尤其嚴格、故其必需控製在某一個需求範圍內,才不會對製程產生影響。作為生產設施,淨室可以占據廠房很多位置。  

      無塵室係統製造符合規格之潔淨空氣,連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端,潔淨室內的製造區(FAB)。一般而言,製造潔淨空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經過潔淨室係統各種處理單元設備之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。以下簡單介紹其處理流程:外氣經由外氣空調箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)並控製其溫濕度後,經由回風管道間(Mech. Chase),將潔淨室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風管道間之回風降溫至淨室要求之規格,通過循環風扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動潔淨室的氣流循環帶走微塵及熱量,經過超高性能過濾網(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過濾後,供應至Fab區。

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